敏芯微电子申请MEMS惯性传感器及其制备方法专利有效降低底电极与衬底之间的寄生电容

　　国家知识产权局信息显示，苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请一项名为“MEMS惯性传感器及其制备方法”的专利，公开号CN121297825A，申请日期为2025年10月。

　　专利摘要显示，本申请涉及半导体器件技术领域，具体涉及一种MEMS惯性传感器及其制备方法，传感器包括层叠设置的第一支撑衬底以及第一晶圆；所述第一支撑衬底靠近所述第一晶圆的一侧设有第一凹槽；所述第一晶圆包括固定电极，所述固定电极在所述第一支撑衬底上的投影位于所述第一凹槽内，所述第一凹槽的底面与所述固定电极之间形成间隙；所述第一凹槽内设有沿垂直第一晶圆方向延伸且与所述固定电极连接的支撑柱。本申请在保证足够机械支撑的前提下，有效降低底电极与衬底之间的寄生电容，以适应多样化工况环境下的工程化应用需求。

　　天眼查资料显示，苏州敏芯微电子技术股份有限公司，成立于2007年，位于苏州市，是一家以从事水利管理业为主的企业。企业注册资本5602.3107万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州敏芯微电子技术股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目27次，财产线条，此外企业还拥有行政许可16个。

　　声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

　　特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。

　　四川女生半夜吃卫龙辣条中了一根金条，卫龙客服：确有此活动，金条价值3000元

　　零跑汽车连续三年荣获MSCI ESG AA评级 稳居全球汽车行业第一梯队

　　四川省委常委会召开会议 坚决拥护党中央对包惠涉嫌严重违纪违法进行纪律审查和监察调查的决定

　　四川女大学生到东北游玩晕倒雪地冻伤，左手三根手指或面临截肢！2300余名爱心人士伸援手

　　贝因美：产品质量问题频发，双重债务危机，“国产奶粉第一品牌” 如何破局

　　Bin离队？多人爆料：队内矛盾，Bin愤怒离队！BLG紧急上调2队上单

　　『仁王3』体验版发布！存档资料可继承至正式版 「2026台北国际电玩展」精彩活动同时登场